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半導體專用設備

我公司與渤海大學簽訂了L4811-I-0/RZQ型真空燒結爐供貨合同

2011年11月,我公司與渤海大學簽訂了L4811-I-0/RZQ型真空燒結爐供貨合同。

該設備在管式爐的基礎上,增加真空系統,獲得高潔凈腔體,提供清潔無雜質的高真空狀態,加熱溫度均勻且能夠精確控制,特別適用于半導體器件或其他對環境要求高的材料的退火工藝,工件質量優良,成品率高。設備的主要特點是:外形美觀,占地面積小;采用高精度、多功能溫控儀,可自動調節與修改PID參數,存儲控溫曲線并可隨時修改、刪除以及重新設定,操作簡單方便;具備多項故障顯示,報警及連鎖保護功能;爐體可以移動推拉,以加速低溫段的降溫。












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